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應用領域
電子類

1. 可鍍制高級電器和通訊用觸點材料,在長扁絲表面上鍍金膜;在柔性襯底、玻璃襯底上鍍CdTe/CdS;在SiC絲上鍍鈦合金等材料
2. 矩形磁控靶兩套,繞線筒濺射成膜
3. 轉盤支架上加直流負偏壓
4. 射頻清洗系統,用于樣品反濺清洗
5. 繞線筒的選材和工作方式滿足金屬絲材(根據客戶要求調整)的使用,考慮其熱脹冷縮對絲材的影響

基本參數:

爐體尺寸

Ф1100XH950

有效空間

Ф750XH500

應用技術

IET+SmallARC

靶材數量

10Pcsxφ100

標準涂層

TiN, CrN, AlCrN, etc.

其他復合涂層

TiAlCrN, TiSiN,TiAlCN,etc.

生產周期

5小時/爐

外圍尺寸

L4500XW2650XH2400mm

使用范圍

貼片電阻,貼片電容,復合金觸點,3C線路板,工件等

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寧波駿鷹真空科技有限公司

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