設備說明:
主要用于在玻璃鏡片上鍍制增透膜、分光膜、帶通膜/截止膜、高反膜等各種膜系,能夠?qū)崿F(xiàn)100層膜的超大形膜系鍍膜,也能滿足在樹脂上鍍制各種顏色的增透膜,及在玻璃、亞克力、水晶等材質(zhì)上鍍制紅、黃、藍、綠、干邑、七彩等顏色的反光膜、裝飾膜。
主要特點:
1、 配置超大坩堝電子槍,整個蒸發(fā)過程中膜料表面平整,蒸發(fā)分布均勻;
2、 配置石英晶體膜厚控制儀可實現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動控制;
3、 配置大功率離子源,膜厚質(zhì)量好;
4、 總統(tǒng)結構設計合理,更符合工藝要求,真空系統(tǒng)采用無油系統(tǒng),可保證整個系統(tǒng)在無油狀態(tài)下工作;
5、 真空操作系統(tǒng)實現(xiàn)互鎖保護,擴撒泵有斷水、斷電報警功能。
6、 采用觸摸屏和PLC自動控制,實現(xiàn)對整機主要部件的參數(shù)化設置、實時運行監(jiān)控及故障智能診斷。
主要配置:
1、 真空室采用立式前開門箱形結構,全不銹鋼箱體,內(nèi)腔尺寸Φ800mm-Φ1800mm;
2、 真空系統(tǒng)采用分子泵(擴散泵),前級泵采用無油真空泵;
3、 采用一套水汽低溫捕集器作為真空輔助抽氣;
4、 工件架:拱形整體式工件盤,或可根據(jù)客戶要求定制;
5、 鍍膜系統(tǒng):配1~2套大功率e型磁偏轉(zhuǎn)2700電子槍及多穴位坩堝,輔助鍍膜系統(tǒng)配霍爾離子源;
6、 烘烤:數(shù)顯自動控溫,溫度控制精度±1.5℃;
7、 膜厚控制:石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng),可控制電子槍蒸發(fā)速率,精確控制膜層厚度,手動和自動控制實現(xiàn)方便切換;光學膜厚監(jiān)控系統(tǒng),透射或反射光路,監(jiān)控波長范圍200~900mm;
8、 控制系統(tǒng):真空控制采用10.4吋彩色觸摸屏加PLC可編程序控制器控制。
技術參數(shù):
光學鍍膜機主要技術參數(shù) | ||||||
性能 型號 | JYG-600 | JYG-800 | JYGG-1000 | JYG-1200 | JYG-1300 | |
真空室尺寸 | Φ600X750 | Φ800X900 | Φ1000X1100 | Φ1200X1250 | Φ1300X1350 | |
結構型式 | 立式 | |||||
工件架結構 | 球面拱形 | 球面拱形、行星可選其一 | ||||
夾具轉(zhuǎn)速 轉(zhuǎn)/分 | 0-45R/min 可調(diào) | |||||
烘烤溫度℃ | 最高溫度300℃ 可調(diào),發(fā)熱元件管狀加熱器或溴鎢燈 | |||||
電阻蒸發(fā)源 | 2組 每組5KW | 2組 每組2KW | ||||
電子束蒸發(fā)源 | E型電子槍;束偏轉(zhuǎn)角270º,功率6KW | E型電子槍;束偏轉(zhuǎn)角270º,功率8KW | ||||
離子轟擊 | 直流電壓3KV,功率0.6KW,棒狀陰極 | |||||
光學膜厚監(jiān)控系統(tǒng) | 膜厚控制儀MKG-500或GMHK9704,電色儀:WDG-30光柵單色儀 | |||||
充氣系統(tǒng) | 自動壓強控制儀 | |||||
真空系統(tǒng)(可根據(jù)用戶要求配置) | 2X-30旋片泵 KT-400擴散泵或 F-250渦輪分子泵 |
2X-70旋片泵 2X-4旋片泵 KT-500擴散泵或 F-400渦輪分子泵 |
2X-70旋片泵 2X-8旋片泵 KT-630擴散泵 ZJ-300羅芡泵 |
2X-70旋片泵 2X-8旋片泵 KT-630擴散泵 ZJ-600羅芡泵 |
2X-70旋片泵 2X-15旋片泵 KT-630擴散泵 ZJ-600羅芡泵 |
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極限壓力Pa |
≤3X10-4
|
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恢復真空時間(空載,從大氣抽至5X10-3Pa) | ≤15分鐘 |
地址:寧波市海曙區(qū)集士港工業(yè)區(qū)中塘路47-1號
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